中微半导体/Veeco专利之争 中微占上风？

记者从中微半导体官方微信获悉，国家知识产权局专利复审委（简称“专利复审委”）于11月24日作出审查决定，否决了维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（简称“Veeco上海”）关于中微半导体专利无效的申请，确认中微半导体起诉Veeco上海专利侵权的涉案专利为有效专利。

本月初，有媒体报道，美国MOCVD（金属有机化合物气相沉积设备）设备厂Veeco宣布，美国纽约东区地方法院同意了其针对SGLCarbon，LLC（SGL）的一项初步禁令请求，禁止SGL出售采用Veeco专利技术的MOCVD使用的晶圆承载器（即石墨盘），包括专为中国MOCVD设备商中微半导体设计的石墨盘。

伴随消息发酵，该事件也在A股引起波动，22日，买进口MOCVD设备的澳洋顺昌的股票盘中几度触及涨停，而中微半导体大客户华灿光电的股价则几乎落至跌停。

对此，中微半导体表示将在三个方面推动解决上述问题：一是积极发展第二和第三渠道的供应商，预计一个月即可完成产品验证，两三个月即可解决批量问题，春节前即可恢复对客户的石墨盘供应；二是SGL已在美国提起反诉，预计很快将取得进展；三是针对专利方面，公司已在中国对Veeco提起专利侵权诉讼。

中微半导体披露，其于今年7月向福建高院正式起诉Veeco上海，指控其TurboDiskEPIK700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。在中微半导体起诉后，Veeco上海对该中微半导体专利向专利复审委提起无效宣告请求。

对于专利复审委作出的审查决定，中微半导体董事长兼首席执行官尹志尧表示，作为一家向国际一流芯片和LED及功率器件生产厂商提供高端制造设备的供应商，中微半导体自2004年成立以来，一直高度重视知识产权，一向独立自主开发技术和确立知识产权地位，同时也极其尊重客户和竞争对手的知识产权；十多年来，中微半导体在几次国内外知识产权诉讼纠纷中，经受住了考验，一直处于不败之地。