11月27日,安徽微芯长江半导体材料有限公司举行年产15万片碳化硅晶圆片项目建设工程竣工仪式。
铜陵经济技术开发区消息显示,该项目是FerroTec集团在第三代半导体领域的全新布局,项目总投资13.5亿元,占地100亩,新建碳化硅晶体生长车间、碳化硅晶圆片加工车间、研发中心等。项目建成达产后,预计年产碳化硅晶圆片4英寸5万片、6英寸20万片。
据此前上海申和热磁电子有限公司消息显示,该项目以4&6英寸工艺兼容的自动化产线为实施要点,建设工期4年,从2020年10月起至2024年10月止,计划2021年3季度完成厂房建设和设备安装调试,2021年12月底完成中试并开始试销。
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