Ferrotec：立昂东芯微电子订购精密电子束蒸发镀膜设备-电子工程世界

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Ferrotec公司今天证实，中国客户订购的首台采用 Auratus 技术的先进镀膜设备 (Temescal UEFC 系列精密电子束蒸发镀膜设备)将交付于杭州立昂东芯微电子有限公司。立昂东芯微电子是杭州立昂微电子股份有限公司创建的从事砷化镓晶圆代工业务的新公司，而立昂微电子则是中国功率半导体的领先供应商。立昂东芯选用 Temescal UEFC 系统，以便他们的客户受益于近乎完美的薄膜沉积均匀性，并且大大减少贵重镀膜材料的消耗。

“随着中国移动设备和物联网（Internet of Things）市场的迅猛增长，对基于砷化镓材料的下一代半导体芯片的需求也越来越大。为了确保我们新创的砷化镓晶圆代工公司的成功，我们需要一种设备可以同时实现大产能、高材料利用率和稳定均匀的工艺结果，从而尽可能降低我们的总体拥有成本 ” 汪耀祖博士 (立昂东芯的首席运营官) 说。 “经过认真严格的评估后，我们认为 Ferrotec 的 Temescal UEFC 系统是满足我们对薄膜厚度、成分以及颗粒控制等技术要求的首选电子束蒸发镀膜设备。我们将期待能用这种系统制造出高性能的芯片。”

“中国政府一直努力促进半导体芯片制造的自给自足，而杭州立昂东芯微电子的新创砷化镓代工厂将具有用于移动设备和物联网的尖端芯片的制造能力。Ferrotec 的 Temescal UEFC 电子束蒸发镀膜系统是生产化合物半导体芯片的强大设备。我们特有的 Auratus 薄膜沉积工艺优化方法可提供无与伦比的产品质量和运行效率 ” Gregg Wallace (Ferrotec Temescal的董事总经理)说。 “我们期待着杭州立昂东芯微电子的事业强劲增长，这款设备将会特别适合他们不断扩张的砷化镓晶圆代工业务。”

关键字：Ferrotec 立昂东芯微电子编辑：杜红卫引用地址：Ferrotec：立昂东芯微电子订购精密电子束蒸发镀膜设备

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[半导体设计/制造]