2017年3月15日,为微电子行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的行业领导者Entegris在SemiCon China期间举办媒体会,宣布与福建博纯材料有限公司合作生产气体,借此扩展在中国的产能,缩短对中国客户的供货周期。
据Entegris亚太区销售全球总裁Ben Lee介绍,目前Entegris已经在上海、北京、深圳设立了办公室。“我们非常看好中国半导体市场未来的发展,预计中国将来半导体的增长会达50%以上。除了设立不同办公地点更接近我们的客户,为他们提供及时的服务外,未来十年我们也考虑在中国设厂,此次和博纯开展合作就是第一步。” Ben说道。
对于为何会选择和博纯开展合作,Ben Lee表示:“我们当初就想选择一家在理念、质量控制以及生产过程方面和我们类似的公司进行合作。博纯对于质量的管理,整个运营及安全性的重视,跟我们的理念都非常接近,所以我们选择了博纯。” 博纯未来将采用精确复制的制造工艺,以匹配现有的Entegris工艺和设备,并在制造工艺中执行相同的质量管控体系。
此次,Entegris参加SemiCon China主要展出了最新发布的Purasol™ purifiers以及GateKeeper® Gas Purification系统。其中,Purasol是业内首创的,该纯化器采用了最先进的表面处理技术,不同的化学反应,可以在很强的溶剂里就把最坏的金属拿出来。该溶剂很强,强到可以把过滤器融掉。GateKeeper气体纯化系统是此次展示的另一个标杆性产品,它具有三大主要特点,一是:自动再生功能;二是自动Bypass;三是占地小。Ben Lee强调说:“Bypass功能很实用,如果一旦发生不是因机台问题导致的断电,那气体就会停下来不能纯化,这样肯定会影响生产,不过具有自动Bypass功能的GateKeeper气体纯化系统,就算遇到停电的情况,导致机器停止运作,但是里面仍有一个气体跟工厂板连接在一起,所以气体还可以输送过去,不会影响生产。”
Entegirs目前在中国的客户主要来自于半导体行业,包括前段、以及后段。随着半导体制程的不断推进,工艺也会越来越复杂,良率的提升就显得非常重要。 “所以想要获得好的良率对于微污染的控制也非常重要。我们的客户在这方面非常信任我们的产品,我们的产品可以帮助他们提升良率,即便是2%-3%的提升,也是非常重要的。”Bee Lee解释道。
对于未来中国市场的发展,Ben Lee充满信心,他表示:“目前中国市场的销售额占Entegris全球销售额的10%,预计未来所占比例会越来越多。2016年,中国也是所有地区中增长最快的地区,超过了所有其它地区。我们计算了一下12寸厂今后三年全球大概会有20个项目,其中17个都会在中国。所以,未来Entegris在会加大在中国的投资,这样也可以更靠近我们的客户。”
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