语音应用开枝散叶 MEMS麦克风出货量步步高升

2020年农历新年将近，有着全球科技圈“春晚”之称的国际消费类电子产品展览会（以下简称2020 CES）也在拉斯维加斯拉开帷幕。作为MEMS激光雷达行业的领导者，一径科技(ZVISION Technologies Co., Ltd.)在Booth#1310Westgate展台携最新车规级固态激光雷达惊艳亮相，并发布了全球首个覆盖长距、中短距应用的MEMS激光雷达全套解决方案，吸引了大量参会者的关注。 其中一款是超远的高分辨率MEMS固态激光雷达，它的探测距离可达200-400米，水平分辨率和垂直分辨率高达0.1度，水平和垂直视场角分别为60度和20度，并可实现进一步扩展。该款产品还支持10-20Hz帧率，200线超高垂直

法国市场研究机构Yole Development针对微机电系统(MEMS)市场发表最新报告指出，目前全球至少50家公司正在提供MEMS代工服务，使得该领域变得高度分散与高竞争性，但又是整体MEMS产业不可缺少的一块。 Yole表示，大型的开放MEMS代工厂现在都很赚钱，并开始升级到8吋晶圆制程；不过由于MEMS在消费性应用领域的高成长性，以及来自其它高潜力应用市场的商机，也吸引了许多来自主流半导体产业的新进者投入竞争。 Yole并指出，由于这些来自半导体产业的新进者，具备能结合CMOS技术与MEMS的高量产能力，让它们与原MEMS代工厂间的竞争态势白热化。 “2008年，MEMS代工厂业绩

　　在仿生推进机理的研究中，精确测量鱼类尾鳍拍动参数对于鱼类仿生推进机理研究及工程应用具有重要的意义；然而，目前研究者大多采用分析高速摄像机拍摄的图像获得参数的观测方法。这种方法受到环境与设备的限制，结果精确度较差。本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为国内首次利用MEMS器件进行的活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础，为机器鱼仿生推进设计理论提供支撑。 　　1 设计要求和系统结构 　　根据活体鱼类的生物特征和实验本身的特点，微惯性测量装置应该满足下列设计要求：体积小，质量轻，功耗低，采集频率和采集精度高，防水密封性能良好。为了实现这些需求，微惯性

　　微机械电子系统(MEMS)有着广阔的应用前景，但MEMS的商业化面临着一个瓶颈——MEMS的封装。成本与尺寸是MEMS封装技术要应对的挑战，系统化是MEMS封装的鲜明特点。解决MEMS封装的划片、粘片、互连以及包封等工艺难题的一个解决方案是采用硅帽结构。MEMS封装技术的发展将是推动MEMS实用化的重要力量。 　　作为微电子学与微机械学相互融合的产物，微机械电子系统(MEMS)将集成电路制造工艺中的硅微细加工技术和机械工业中的微机械加工技术结合起来，制造出机、电一体甚至光、机、电一体的新器件，有着广阔的应用前景。目前已经有一些获得商业应用的MEMS器件，如温度传感器、压力传感器、加速度计等。但是整体上，MEMS的商业化面

本设计采用MEMS检波器对信号进行采集，信号经低功耗主控芯片MSP430F247完成A/D转换后存储数据，将其进行FFT变换，得到采集信号的频谱特性，可以大大提高勘探的准确性，减小系统的体积、重量、功耗等，实现地质勘探、石油开采等现场作业。 硬件设计 本设计由MEMS检测传感器、MSP430F247控制芯片和波形显示三部分组成,系统框图如图1所示。 MEMS采集地震波并将其转换为电压信号，由MSP430完成 A/D转换，经FFT变换，得出其频谱特性图。 图1 系统框图 检测部分 检测部分的核心是MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）传感器，它以硅材料为基底，采用微机械加工工艺和IC工艺加工出

    意法半导体  （STMicroelectronics，简称ST）大幅提升MEMS生产线的产能，预计至2011年底, 传感器日产能将超过300万颗，以满足客户对高性能、低价格传感器的爆炸性增长的需求。     意法半导体部门副总裁兼MEMS、传感器和高性能模拟产品部总经理Benedetto Vigna表示：“我们正在引领MEMS消费电子化革命，力求继续领导这个市场。我们不断提高生产线的产能，推动MEMS进入高速增长的市场，如医疗保健、工业和汽车。意法半导体抢占了普及微机械传感器的先机。”     意法半导体全球首创在8英寸晶片上生产MEMS传感器，从而大幅降低了产品的单位成本，推动了现有MEMS应用的增长和新MEMS市

　　流量传感器是众多医疗设备的关键器件，它被用来监视气体输出量以确保流量精确。目前可用的流量传感技术主要包括压差传感、正排量传感及叶轮传感。与那些不包含集成的信号放大与温度补偿电路的测量元件，微机电系统(MEMS)大流量传感器更容易集成(图1)。虽然MEMS大流量传感器具备许多优点，但由于其测量的流量比较大，所以价格一直偏高。 　　降低成本、减少空间、减轻重量的一个方法是在旁路通道设置低流量传感器来测量主通道上较大的流量。MEMS流量传感器旁路通道设置类似于差压传感器(间接测量气体流量，见图2).。与压差传感器相比，MEMS传感器在很低流量情况下依然可以提供更高的分辨率。图3描述了普通大流量传感

           SiTime面向5G基础设施推出突破性 MEMS 时序解决方案--Emerald平台           Lee·10:32·芯品　　来源:爱集微          为 5G 基础设施解决关键的时序挑战          为价值 15 亿美元的电信和网络时序市场设定新的性能基准（相比以前提升 -20 倍）         前所未有的易用性和可编程性，降低设计复杂性，加快创收速度           2018 年 11 月 5 日，加利福尼亚州圣克拉拉 –  MEMS 时序领域的领先提供商 SiTime 公司今天宣布推出 Emerald Platform™，这是一款革命性的高精度