华润上华承担的02“MEMS专项”通过正式验收

近日由无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位联合承担的国家02科技重大专项 “集成电路与传感器集成制造与生产技术” 项目（简称“MEMS专项”）在无锡华润微电子通过项目正式验收。

据悉，MEMS专项的主要研究任务和目标是重点开展集成电路与传感器集成制造（包括芯片与MEMS制造和系统封装）技术研发，解决并掌握与CMOS工艺线兼容的MEMS规模制造的系列关键技术、集成产品设计与封装技术。建立专业化、具有规模化生产能力的硅基集成电路与MEMS传感器开放代工平台，实现规模生产，成为我国集成电路与传感器集成制造、生产与服务中心，为“感知中国”建设发挥核心支撑平台作用。

在国家02科技重大专项的大力支持下，MEMS专项通过产学研用的联合、完整产业链垂直整合的方式，突破多项MEMS传感器加工工艺的技术难点，解决了制约我国MEMS规模生产的工艺一致性、稳定性差的关键问题，成功建立国内首个与CMOS兼容的MEMS专业代工规模量产生产线，以压力传感器、硅麦克风、红外传感器等为代表的六大量产工艺平台总产出晶圆数超6万片，培育了20多家国内MEMS设计公司。通过项目的实施，还培养了一支层次高、专业技术能力强的人才队伍，累计共申请了发明专利316件（其中国际专利27件），已授权165件（其中国际专利5件），建立了MEMS产品设计服务平台，以及MEMS封装及测试服务平台，为促进我国MEMS自主研发体系的发展提供了很好的技术基础。

专项验收会议由中央候补委员、02专项办副总师王曦院士主持，02专项办总师叶甜春亲临现场参加项目验收、华润微电子陈南翔、张沈文等公司领导以及省市科技局的相关领导出席了本次会议。经过任务验收专家组和财务验收专家组对现场验收资料的认真审核、质询和讨论，验收组认为项目任务各项指标均已达到合同要求，项目支出符合相关管理规定，验收资料齐全，以任务验收91分的高分一致同意项目通过正式验收。

MEMS技术是华润上华经过近6年的努力，从无到有打造的核心特殊工艺平台，已经成为华润微电子在国内有影响力的一张响亮名片。此生产线的建设和工艺平台的开发，解决了国内MEMS产业发展过程中的瓶颈制约，一方面为MEMS产品的国产化作出了重要贡献，推动了国内MEMS产业的发展；另一方面将在公司发展过程中起着十分关键的作用。它不但为公司创造了良好的经济效益，MEMS系列工艺平台的毛利率在公司所有产品和技术中名列前茅；同时也是华润上华聚焦功率半导体和传感器产品方向的重要基础。

验收总结会上，02专项办总师叶甜春对该项目的成功实施给予了高度评价。他说MEMS项目是所有02专项项目中完成情况最好的项目之一，得到这样的评分并不多见。该项目是国家微电子产业发展战略布局中的重要环节，华润微电子作为项目牵头单位，在项目实施过程中虽然遇到众多的不解和技术难题，但通过有效地组织国内优质资源，持之以恒、坚持不懈地努力，最终取得了良好的成效，充分反映了参与项目的科研人员对微电子事业的追求和情怀；此项目也是推动“产学研”合作的成功典范。项目整合了华润微电子、中科院微电子所、中科院微系统所、北京大学和东南大学的优质资源和前期研究成果，实现了科技成果的产业化。最后，他希望华润微电子站在高处放眼未来，在更高的台阶上筹划企业的发展，成为国内领先的微电子企业，为中国微电子产业的发展作出应有的贡献。