中船重工：努力打造世界重要的电子特种气体供货商

新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的「血液」。 中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供货商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产 的关键材料。 然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

郭建增介绍，７１８所在国家重大专项的支持下，经过多年军民融合、持续技术创新，相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品，打破国外企业十几年的垄断，结束了该领域相关产品的高价时代，主要产品三氟化氮市场价格大幅下降， 改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

目前，７１８所三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一，三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过９５％，国际市场覆盖率达５０％；其他７种气体及１０种混合气体已研制成功并具备批产条件，得到了国内半导体龙头企业的 测试 认证。

据介绍，７１８所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体产能建设，加大国际国内两个市场开拓力度，加快拓展半导体行业大宗气体现场制气业务，力争在２０２０年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。