据路透社报道，荷兰政府计划于当地时间6月30日宣布新法规，对ASML次顶级产品线深紫外DUV光刻机提出许可要求，此前，ASML极紫外EUV光刻机已经受到限制。
ASML在3月份表示，预计荷兰法规将影响其TWINSCAN NXT:2000i和更复杂的型号。消息人士称，荷兰新法规不会立即生效，一位人士预计生效日期为9月，即发布两个月后。报道称，美国预计将更进一步，限制更多荷兰设备出口到特定的中国工厂，ASML较旧的DUV型号，如TWINSCAN NXT:1980Di也可能被美国禁止。知情人士称，新规将要求向大约六家中国工厂出口相关设备需要许可证，甚至部分美国零部件也被禁止出口这些企业，该规定可能在7月底公布。美国的新规将适用于全球领先的芯片设备制造商ASML，是因为其系统包含美国零部件，但具体会涉及哪些设备，需要等待美国的新规细则出炉。虽然荷兰的ASML在EUV相关设备市场上垄断了核心光刻机，但日本在DUV光刻设备中的实力也不容忽视。Gigaphoton是日本最大工程机械企业小松旗下的半导体企业，在光刻设备的DUV光源领域，Gigaphoton与ASML旗下的Cymer（2012年被ASML收购）平分市场。做为世界首家研发成功并量产目前本世代深紫外光刻（DUV）技术中最先进的ArF 193 nm准分子激光光源的厂商。在光源这个光电子领域最上游的环节中，Gigaphoton和Cymer也是仅存的两家有能力开发次世代极紫外光刻机用LPP型（激光等离子体）光源的制造商。据日经新闻网报道，在半导体制造中起到关键作用的光刻设备的主流类型中，该公司掌握核心设备的全球约5成份额。营业利润率（约20%）甚至超过盈利能力强的母公司小松，企业估值达到3000亿日元。
作为小松的主力基地，日本栃木县小山市的小山工厂生产堪称工程机械心脏的柴油发动机和液压设备等，并向全世界供应。性质完全不同的Gigaphoton的总部就位于小山工厂的一角。2022年7月，该公司启动了新生产厂房的开工建设。本次新厂房建设项目的投资金额约为50亿日元，计划于2023年6月完成，完成后的生产能力将提高到2020年度的2.5倍。据悉，此厂房是针对使用以往主流的“深紫外线（DUV）”的光刻设备，Gigaphoton提供核心设备光源等。如果新厂房能在今年年内竣工，包括最近增强部分在内，产能将提高至2020财年（截至2021年3月）的逾2倍。将扩大对重要客户荷兰阿斯麦（ASML、全球最大光刻设备制造商）等的供货。ASML在用于制造电路极其微细的最尖端半导体的“极紫外（EUV）”光刻设备领域独占鳌头，但Gigaphoton认为面向“深紫外线”（DUV）的产品仍有增长空间。 Gigaphoton是在2000年8月1日成立的，目前拥有1260名员工，小松和牛尾电机分别出资50%。他们利用激光技术，该技术最初用于调查工程机械等前端内部燃烧情况，进军了光刻用光源领域。此举是为了摆脱过度依赖成熟市场的工程机械业务，通过认可的电子业务拓展挑战。然而，小松曾因进入半导体相关等多个业务领域而面临低迷的业绩。在2001财年，公司首次出现合并营业亏损。为了重组业务，小松决定在2006年将全球第5大硅晶圆制造商小松电子金属出售给SUMCO，而保留了Gigaphoton。小松承担了Gigaphoton海外业务的行政工作，派遣人员支援公司治理和生产等，提供了慷慨的支持。“与作为主业的工程机械没有技术方面的协同效应”，小松曾这样明确表示。Gigaphoton的单独营业收入2022财年为585亿日元，只占小松合并营业收入的1.7%，规模很小。但营业利润率高达约20%，超过母公司（14%）。已成为引领全公司工业机械相关部门的赚钱大户。小松的首席财务官（CFO）堀越健表示，“利润率非常高，我认为将来还会增长”，透露了继续把Gigaphoton留在旗下的理由。在用于光刻设备的EUV光源领域，Gigaphoton虽然具有与Cymer竞争的潜力，但也有落后于并入阿斯麦旗下的Cymer的痛苦经历。尽管在EUV光源领域，Gigaphoton希望通过在检测领域重振旗鼓，但在规模庞大的半导体行业中，作为一家规模较小的公司，Gigaphoton始终面临依赖于特定客户的风险。目前，来自台湾省的营收占整体的25%，来自中国大陆的占15%。此外，半导体出口管制的影响以及地缘政治也增加很多不确定性。Gigaphoton计划到2030年争取获得DUV光源市场的60%份额，实现1000亿日元的营业收入，将营业利润率提高至25%。
关键字：ASML Gigaphoton
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与ASML平分市场，日本这家工程机械企业不容忽视
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