全球半导体微影技术领导厂商艾司摩尔(
ASML)近日宣布,在台积电(2330)、英特尔及三星三大
晶圆厂力挺下,最先进的极紫外光(
EUV)已连续四周平均妥善率逾八成,本季底前将完成三台最新的EUV系统出货。
EUV堪称半导体设备发展以来最昂贵的设备,一台售价高达9,000 万欧元(约新台币36亿元),这项设备也是半导体产业向更先进制程发展最关键设备,因此发展进度,一直各界关注焦点。
台积电共同执行长暨刘德音表示,台积电本季将会再增购一台EUV设备,不过台积电将会于5奈米制程才会导入生产制程,显示EUV的输出率,目前仍处于试验阶段。
不过,ASML总裁暨执行长温彼得(Peter Wennink)昨天在公布第1季财报后,也针对EUV进展,公布重大突破。
他强调,ASML的目标是在今年持续强化EUV系统的生产力和妥善率,并计画在今将机台生产力提升到每天曝光1,500片晶圆。
他说,今年首季,ASML的EUV系统即展现每天曝光350片晶圆的实力。在妥善率方面,三个客户端的EUV系统都展现连续四周平均妥善率达80%以上的成果。
至于首季已出货一台最新EUV微影系统NXE:3350B,计划第2季出货两台EUV系统。
ASML首季也推出深紫外光(DUV)最新型浸润式机台NXT:1980,并出货6台,且快速将生产力拉升到每天4000片晶圆的水准。这套系统将应用在即将迈入试产的10奈米制程。
ASML也于本季推出最新一代的整合式量测系统YieldStar 350E,提供晶圆更准确的量测结果来做后续分析。
ASML昨天公布首季营收13.3亿欧元,毛利率42.6%,双双超标,本季预期在客户导入新的浸润式机台为10奈米量产做准,且扩增28奈米制程产能,乐观预期会有强劲成长。
关键字:ASML EUV 晶圆
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这么贵的设备?台积电果然大手笔
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