1亿元大机器“降落”，ASML曝光机这一路飞得真不容易-电子工程世界

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近日，一台价值1.06亿元的ASML曝光机从荷兰飞抵厦门，由于该货物属于空运紧急货物，价值又高，高崎机场海关查验关员在当晚就对其进行紧急查验放行。

据悉，该仪器为厦门一家公司申报进口，价值达1.06亿元，这是机场海关历年来应急处置的价值最大的空运紧急货物，也是该关继4月份机边验放芯片光刻对准精度测试仪之后，再次对空运大型特殊设备采取从落地到放行的全程机坪监管。

ASML曝光机为当今世界上最先进的半导体制造设备之一，用于生产集成电路12英吋晶圆。因该仪器保存温度必须保持在23摄氏度恒温状态下，且在运输途中对避震要求极高，无法适用正常验放流程。机场海关根据企业申请，考虑到仪器价值大，精密度高，确定再次使用机边验放程序。当晚，高崎机场海关以机坪查验的方式对该货物实行全程机边监管，待货物装入特制温控气垫车后移至海关的机坪视频监控探头之下，同时安排相关科室人员实行全程视频监控直至货物放行。

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