评论：ASML这次学聪明了

可想而知许多设备界的高层有多痛苦了。特别是几年前，晶片制造商又谈论朝450mm晶圆转移的谈话之际。

许多人打从一开始就对450mm能否成真抱持怀疑态度。现在看来，450mm是不可避免的，尽管传统的看法都认为只有少数几家晶片制造商──特别是英特尔(Intel)、三星电子(Samsung Electronics)、台积电 (TSMC)和Globalfoundries等公司有能力建造450mm生产线。

而且，从提出450mm开始，业界就充斥着许多辩论，包括工具供应商和他们的客户将如何分配转移到新晶圆尺寸的相关研发成本。市调机构Gartner 的分析师Bob Johnson本周说，450mm的累计研发成本将达170亿美元，而今年度大约占20亿美元。而其他机构则有各式各样不同的预估数字。

一些刚萌芽的研究专案正在努力进行研发，其中包括由英特尔(Intel)、三星电子(Samsung Electronics)、台积电(TSMC)和Globalfoundries等晶片巨擘共同组成，耗资48亿美元的“全球450联盟(Global 450 Consortium)”在内。

但对部份工具制造商来说，这些远远不够。微影设备供应商ASML Holding NV公司眼见450mm一再延宕的困境。要转移到450mm，将会需要全新的微影设备，以及可支援更大尺寸、重量更重的晶圆，而不会发生震动的载台，以避免因震动而导致无法作出精确的微影曝光。ASML 公司已经预见到，仅有少数晶片制造商会购买新工具，投资报酬率将非常有限。

当然，ASML早已投入450mm晶圆的研发，但这是在该公司启动一个创新的客户合作计划，要求希望转移到450mm晶圆，以及获得超紫外光 ( EUV )微影技术的晶片制造商，也共同投入新技术的研发。

本周一(7月9日)，英特尔宣布以41亿美元收购ASML公司15%股份，加快450mm和EUV技术发展。其中除了超过30亿美元是用在收购ASML股份外，英特尔也针对新技术的开发挹注10亿美元。当然，英特尔也承诺将进一步采购450mm和EUV技术的开发和生产工具。

三星、台积电必须买单

ASML 还将再出售另外10%的股份给其他希望发展450mm晶圆和EUV微影工具的晶片制造商。该公司目前正在和三星、台积电讨论。若这些公司拒绝或同意参与，但并未买下10%股份，ASML公司仍愿意出售剩余部份，并将邀请其他公司加入。(由于ASML订定的条款，英特尔的股份收购上限为15%。)

整件事看起来，确实像上餐前就先把账给付掉。但ASML有理由这样做。ASML不会在钱没到位以前就先投资450mm。由于ASML在微影市场举足轻重，因此没有ASML投入，450mm就很难发展。

在朝450mm 转移的过程中，英特尔将获得最大利益。该公司财务长Stacy Smith表示，预计转移到450mm将为英特尔节省超过100亿美元的制造成本。因此，英特尔只要求ASML报出价钱，毫无疑问，财大气粗的英特尔也将让想转移到450mm和EUV微影技术的竞争对手获益，因为最终他们也能获得相关工具。

英特尔已经买下15%股份了。即使英特尔是唯一一家入股ASML，直接支援其技术发展的晶片公司，这家全球最大的晶片制造商也将在每一次竞争对手掏出支票簿来准备购买新工具时，抢先一步赢得先机。ASML公司发言人表示，英特尔态度非常坚定，因为他们看到了开发这些技术的利益所在。

无论是三星、台积电，或是任何其他的晶片供应商会入股ASML公司都有待观察。入股ASML确实有些好处，特别是在英特尔也投下巨资之际，毫无疑问，ASML必然会开发450mm工具(还有EUV，尽管该技术距离成熟还很遥远)。一旦ASML的工具准备就绪，包括三星、台积电和其他任何想跟进的厂商，都得付钱购买新工具。

但三星和台积电将做出明智抉择，并将参与其中。当450mm工具就绪时，领先的晶片制造商将会立即需要它们。如果三星和台积电放弃这个机会，他们获得新工具的顺序就会排在英特尔之后了。

英特尔已经获得15%的ASML股权，三星和台积电也都有可能出资买下其他可出售股份，不过这些都是无投票权股份。依常理来看，当客户真的决定对设备商挹注研发资金共同开发新技术时，他们通常会大加宣扬。三星、台积电和任何其他可能投资的公司若再不展开行动，届时就可能会发现自己被拒于新技术的门外。