中科院研制中紫外直接光刻设备取得突破-电子工程世界

分享到: 微博; QQ; 微信; LinkedIn

近日，一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术，结合光敏玻璃材料，实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工，能够极大简化工艺流程，将有力促进光敏玻璃微细结构的光刻工艺技术“革命”，目前在国内尚未见有此类产品成功研发的报道。

光刻设备是用于微细结构加工的核心设备，在微电子、生物、医学和光学等领域得到全面应用。由于光刻工艺的限制，原有光刻设备大多是针对光刻胶曝光进行技术研发。而针对玻璃基底的微细结构加工具有特殊性：光敏玻璃光谱敏感特性不同于光刻胶、微细结构深宽比大和完全非接触曝光。近年来，针对玻璃基底的微细加工技术愈发重要，在微流控芯片、微光学元件以及OLED显示屏等新型微细结构的加工中需求迫切，也是国内外光刻设备研发的重要方向之一。因此，光电所微电子专用设备研发团队联合国内外科研机构，开展了汞灯光源、大口径高精度反射镜、中紫外镀膜和间隙测量等技术研发，成功提高了汞灯光源中紫外光谱能量，通过反射式光路结构保证光能利用率和准直性，精密间隙测量和控制技术实现非接触曝光，并进行了光敏玻璃直接光刻实验，实现了玻璃基底高分辨、高深宽比、大面积微细结构的直接光刻工艺。

该设备的成功研制，是光刻设备研发与光刻工艺应用结合的产物，将促进光刻工艺的革命性改进，符合国际光刻设备研究发展趋势，也使得我国在新型直接光刻设备研发中抢占先机。

关键字：光刻微电子中科院引用地址：中科院研制中紫外直接光刻设备取得突破

上一篇：收购狂潮过后的FPGA市场格局
下一篇：两大两小厂商或易主或易“容” FPGA将何去何从？

推荐阅读最新更新时间：2024-05-03 01:08

江化微电子材料股份有限公司全资子公司完成工商登记

电子网7月7日消息今日，江阴江化微电子材料股份有限公司关于全资子公司完成工商登记并取得营业执照的公告，通报其全资子公司江化微（镇江）电子材料有限公司完成工商登记并取得营业执照。江阴江化微电子材料股份有限公司（以下简称 “公司”）于2017年6月14日和7月5日分别召开了公司第三届董事会第九次会议和公司2017年第二次临时股东大会，审议通过了《关于设立全资子公司的议案》。近日，公司全资子公司已取得由镇江新区市场监督管理局核发的《营业执照》，相关信息如下：　　名称：江化微（镇江）电子材料有限公司　　类型：有限责任公司（法人独资）　　住所：镇江市新区金港大道180号8幢　　法定代表人：殷福华

[半导体设计/制造]

奥地利微电子推出占板面积最小、业界最高亮度的闪光LED驱动芯片

中国 —— 全球领先的高性能模拟IC设计者及制造商奥地利微电子公司（SIX股票代码：AMS）宣布推出应用于手机、照相机和其他手持设备的AS364X系列LED闪光驱动芯片。产品具有高集成度及4MHz的DC - DC升压转换器，这使其成为业界尺寸最小的芯片，还能保证最高的精度，从而确保最佳的照片和视频图像质量。新的产品系列支持320mA至最高2A的输出电流，从而拓展了奥地利微电子闪光产品序列，为入门级手机、高端智能手机、平板电脑、数码相机和录像机提供最佳解决方案。除了具有业界最小尺寸的特性，新的产品系列提供高度精确的I2C可编程输出电流和时间控制，拥有诸多安全特性，另外还结合智能内置功能与独有的处理技术，使闪光灯即使在非常低的电

[电源管理]

新基建为华微电子带来新赛道：本土功率半导体芯片需求强

昨日，吉林华微电子举行了“新基建-芯片制造的新风口”华微电子京媒交流会。吉林华微电子股份有限公司负责人介绍了公司在半导体芯片领域所取得的最新突破，并就热点问题进行了现场解答。本次京媒交流会上最大亮点，是华微电子向媒体着重介绍的新能源汽车上的核心器件——系列IGBT产品。正在研发的DSC双面模块，可大幅度缩小电机控制器的体积，提高新能源汽车的续航里程，这也是消费者最关心的痛点之一。据介绍，IGBT模块是新能源汽车动力系统的核心器件，华微电子针对新能源汽车开发的系列IGBT产品，均采用先进的TRENCH+FS结构设计和超薄片工艺技术，目前650V和1200V系列IGBT模块，最大电流800A，公司正在研发DSC双面散热模块

[电源管理]

从中科院到思朗科技：中国超高性能芯片的诞生之路

5G到来的进程正在加速。　　目前，5G正处于标准确定的关键阶段，今年6月，国际标准组织3GPP即将完成5G第一版本国际标准。同时政策利好也不间断，4月24日，发改委、财政部发布通知，将降低5G公众移动通信系统频率占用费标准…… 　　5G技术不仅能支持包括汽车在内的各类机器人(20.11 +3.93%,诊股)顺畅地互联互通，也将是智能手机、智能家居、人工智能、大数据及云计算等多个领域实现“质”的升级的基础技术。　　面对这股迎面而来的5G浪潮，中国的芯片行业准备好了吗？虽然道阻且长，但以华为海思为代表的中国智造依然让人期待。目前在基带领域，华为海思是唯一可与高通相比的中国公司，这是华为30多年来各种要素积累的结

[半导体设计/制造]

易兆微电子招聘进行中

4月17日，由集微网主办，浙江大学信息与电子工程学院、西安电子科技大学微电子学院、电子科技大学电子学院学生发展指导中心、华中科技大学光学与电子信息学院、厦门大学电子科学与技术学院、上海大学通信与信息工程学院、西北工业大学微电子学院等高校微电子相关院系协办的“2020集微春季线上校园招聘会—微电子专场”第二天宣讲会闪亮登场，来自易兆微电子等6家公司的精彩宣讲和众多岗位，吸引了广大应届生踊跃参与在线互动。在第二天的“云招聘” 活动中，热度不减，通过爱集微APP等各种平台观看直播数超过25000人次。其中，易兆微电子（杭州）有限公司是一家无晶圆厂半导体研发设计公司。专注于蓝牙及wifi、NFC及安全应用的无线片上的系统和射频芯片的

[手机便携]

昇显微电子第一颗芯片点屏成功，正式量产时间不确定

近日，苏州创业园微信公众号表示，苏州昇显微电子的第一款智能手机用AMOLED驱动芯片预计2019年4季度可实现量产出货。对此，万盛股份5月19日晚公告称，该项目尚需进行客户验证等工作，正式量产时间尚存在不确定性。公告表示，昇显微电子设立于2018年9月，截至2018年12月31日，该公司资产总额1503.58万元，净资产555.56万元,尚未实现营业收入，净利润为-973.44万元。昇显微电子AMOLED驱动芯片项目已完成第一颗芯片的样片制作，并于近日点屏成功，但该项目尚需进行客户验证等工作，正式量产时间尚存在不确定性。

[手机便携]

士兰微电子推出多款家电及工具类电机控制解决方案

士兰微电子MCU经过多年发展和积累，已经形成了品牌化，系列化，可为客户提供一站式产品服务。近期，士兰微电子推出了M0系列，M0双核系列，M3系列，M4系列等多系列MCU产品，可广泛支持客户的多样化需求，覆盖家电、电动工具、电动车等应用。具体包括应用于家电空冰洗等的MCU-SC32F58/56系列产品；应用于园林工具、吸尘器、低压风机的低压合封MCU-SPC7L系列产品，应用于电动工具的低压合封MCU-SPC6L系列产品；应用于电动两轮车的SC32F56系列产品。图1：士兰微家电及工具解决方案在白电领域，士兰微可提供MCU-SC32F58/56系列产品，满足家电空调、冰箱、洗衣机、油烟机、洗碗机等开发需求。产品采用

[工业控制]

士兰<font color='red'>微电子</font>推出多款家电及工具类电机控制解决方案

中星微电子：把握数字多媒体芯片主动权

　　作为MIPI联盟39家会员中惟一的中国企业，借助加入MIPI的机会，中星微将试图建立数字多媒体芯片产业链，形成3G多媒体服务的国内应用规范和标准，继续争夺全球和国内的3G数字多媒体芯片市场。张辉今年初刚刚升任中星微电子公司常务副总裁，但他的名片还没有来得及更换，只是用签字笔把“副总裁”勾掉，写上了新职务。　　同获得2005年CCTV年度经济人物大奖的中星微电子公司董事长邓中翰相比，身为中星微电子常务副总裁的张辉显然少了很多关注。然而，作为邓的同门师弟，加州大学伯克利分校的电子工程学博士、公司创始人之一，张辉掌管着中星微的业务发展方向的规划、推动等重要职责。　　这家在美国纳斯达克上市的中星微电子公司，已经成为全

[焦点新闻]

热门资源推荐
热门放大器推荐

小广播

热门活动

换一批

■免费申请 | 上百份MPS MIE模块，免费试用还有礼！

■PI 电源小课堂|无 DC-DC 变换实现多路高精度输出反激电源

■有奖直播报名:大联大世平集团&恩智浦 | AI 无所不在，单板电脑也可以

■2024 瑞萨电子MCU/MPU工业技术研讨会——深圳、上海站，火热报名中