PlanarClean AG 产品针对 10 nm 及以下的铜和钨工艺进行了优化
BILLERICA, Massachusetts,2016 年 1 月 28 日 – Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG)(一家为先进制造环境提供良率提升材料和相关解决方案的领先企业)日前发布了针对半导体制造的新型化学机械研磨(CMP)后清洗解决方案。新型 PlanarClean® AG 系列产品设计用于 10 nm 及以下的工艺中,并新增到 Entegris 的领先 CMP 后清洗解决方案产品组合。
“多年来,Entegris 一直是 CMP 后清洗方面的行业领导者。我们的 PlanarClean 系列产品已广泛用于全球的晶圆厂。由于许多新材料(如钴和钨)的添加,先进节点处的晶圆生产变得更加复杂,为了解决这个问题,我们仔细重制了PlanarClean 解决方案,既能提供卓越的清洗能力,同时不破坏先进薄膜或新材料”,Entegris CMP 后清洗解决方案总监 Cuong Tran 表示。“PlanarClean AG 满足先进工艺的需求,同时还符合我们客户制定的新安全指南。”
硅晶圆生产中的 CMP 工艺包含机械研磨步骤,该步骤使用化学研磨液配方将多余的导电或绝缘材料从集成设备表面上去除,实现平整、光滑的表面,用于构建多层集成电路。CMP 后清洗步骤去除纳米级颗粒,减少潜在的晶圆缺陷,同时保持已经放置到位的材料层的完整性。
在高级工艺中,接触清洗过程的薄膜和材料的数量和类型发生了变化,凸显了对特别配方清洗解决方案的需求。此外,研磨液中所使用的微粒也有所改变,使得许多传统 CMP 后清洁剂在领先技术中显得无效和低效,特别是在前段 (FEOL) 流程中。如今这些挑战迫使半导体制造商考虑使用配方清洗解决方案代替商品清洗解决方案。
PlanarClean AG 配方解决方案能够满足这些需求,在包含铜、钴和钨的高级工艺中提供一步式的卓越清洗,同时保护底层的薄膜和材料。其专有配方可以提高可靠性和产量、实现极低甚至零腐蚀和缺陷并增加待机时间,进而带来更高的性能。此外,PlanarClean AG 可降低清洗步骤中所需的化学品量,提供使用成本优势,并满足晶圆厂化学品的最新 EHS 安全要求。相关产品已在多家领先晶圆厂成功经过评估,目前可供所有客户购买。
上一篇:Semblant新设硅谷和中国办事处
下一篇:神经形态芯片有重大突破,这回石墨烯成了“海绵”
推荐阅读最新更新时间:2023-10-12 23:36
美国半导体材料巨头Entegris宣布加大在华投资
核心提示:美国Entegris公司(NASDAQ: ENTG)15日在上海宣布,与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务,博纯材料将在其位于泉州的工厂制造Entegris特殊化学品。 新华社记者高少华 上海(CNFIN.COM / XINHUA08.COM)--美国Entegris公司(NASDAQ: ENTG)15日在上海宣布,与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务,博纯材料将在其位于泉州的工厂制造Entegris特殊化学品。 Entegris是一家专为全球微电子及其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的公司,2016年销售额达12亿美元。目前,Entegris在美国和韩国制造特殊化学
[手机便携]
ENTEGRIS收购安诺,拓宽过滤产品组合
特种化学品和先进材料解决方案领域的领导厂商Entegris, Inc.宣布已完成对安诺过滤的收购。安诺已成为Entegris 的子公司,隶属于微污染控制部门。安诺为一家过滤公司,行业覆盖广泛,包括制药、医疗等。安诺总部位于杭州国家级富阳经济技术开发区新登新区。 安诺不仅为Entegris的全球产品组合增添了新的薄膜技术和过滤产品,也为Entegris在亚洲地区制造过滤产品提供了额外的基础设施。 Entegris总裁兼首席执行官Bertrand Loy表示:“物联网、人工智能和5G基础设施的需求日渐增长,给Entegris带来了新的成长机会,我们已万事俱备。收购安诺再次印证了我们对亚洲地区的大力承诺,以及扩展制造能力以迅速帮
[半导体设计/制造]
美国半导体材料巨头Entegris宣布加大在华投资
美国 Entegris 公司15日在上海宣布,与福建博纯材料有限公司签订协议以扩大在中国的业务,博纯材料将在其位于泉州的工厂制造 Entegris 特殊化学品。下面就随半导体设计制造小编一起来来了解一下相关内容吧。 Entegris 是一家专为全球微电子及其他高科技行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的公司,2016年销售额达12亿美元。目前,Entegris在美国和韩国制造特殊化学品,并在中国的北京、上海和西安有相关业务。此次与博纯材料的合作将在中国扩展产能,并缩短对中国客户的供货周期。 Entegris亚太区全球销售总裁李迈北在接受记者采访时表示,Entegris自2001年正式在华开设分支机构,目前来自中
[半导体设计/制造]
ENTEGRIS发布2018年中国战略
中国上海, 2018年3月15日 — Entegris今天发布了2018年中国战略,致力于将当今全球一流制造商所使用的高端材料解决方案引进中国市场。对于中国制造商而言,要与市场上现有的厂商开展竞争,至关重要的是,在晶圆厂建设及全生命周期生产管理中选择世界一流的解决方案。Entegris旨在成为中国市场的首选供应商,目前正积极拓展在中国市场的足迹,增强技术能力,从而更好地服务于飞速发展的中国半导体制造行业。Entegris在中国的战略重点包括:助力新晶圆厂的建设,继续推进材料生产本地化,并加强实验室支持、人才培养等一系列本地化基建工作。 Entegris亚太全球销售副总裁兼中国区总经理李迈北表示:“以客户为中心一直是我们中国战
[半导体设计/制造]
Entegris上海建中国技术中心 助力中国半导体制造商加速投产
业界领先的特种化学及先进材料解决方案的公司 Entegris (纳斯达克: ENTG)6月5日宣布正在上海建设中国技术中心,旨在支持所有技术制程,计划于 2018 年底落成运营。该中心选址张江高科技园区,紧邻客户。该中心2018 年的投资额将超过 2,000 万人民币。Entegris将密切关注国内客户对实验室支持和研发的需求,考虑进一步投资扩建。 中国技术中心初期将专注于特定应用,以帮助客户加速建成投产,具体包括:测试与应用支持、定制化解决方案开发、携手OEM进行合作设计,以及为客户和OEM厂商提供培训。Entegris还计划根据客户需求,与客户联合开发前沿技术。 Entegris执行副总裁兼首席运营官 Todd Edl
[半导体设计/制造]