ENTEGRIS 与湖北晶星签订生产协议增加 3D NAND 关键材料的中国-电子工程世界

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Entegris 特殊化学品和工程材料部门高级副总裁兼总经理 Stuart Tison 表示：“同湖北晶星的合作有利于 Entegris 在中国扩大产能，同时也缩短了中国市场的沉积材料供应链。”他还表示：“我们很荣幸成为第一家在中国实现大批量生产 TEOS 的跨国企业。Entegris UltraPur™ TEOS 是 3D NAND 技术的关键材料，对于支持中国半导体产业的全面发展也具有重要意义。”

湖北晶星总经理 Ye Gang（叶刚）表示：“与 Entegris 的合作有助于我们全面提升高纯度材料的生产能力和水平。”“此外，我们将会采用与目前 Entegris 流程相匹配的生产工艺，同时采用其质量控制体系，以保证产品的统一性。”

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