至纯科技：晶圆厂持续扩产，公司业绩至少维持2年高速增长

根据至纯科技上半年财报，该公司今年1-6月营业收入为9.2亿元，同比增长76.51%；归母净利润达1.5亿元，同比增长395.5%；新增订单高达 17.2 亿元，达到去年全年新增订单的 88%。

至纯科技董秘柴心明在今（9）日的临时股东大会上表示，公司上半年的业务增长速度至少能够维持两到三年，而三至五年以后，则将迎来一个持续稳定增长的市场。

“下游大量的晶圆厂开建，尤其是国内的晶圆厂与台积电、三星等海外厂商不同，其产线基本都还没有‘定型’，特别是成熟制程方面。”柴心明在谈到公司市场机遇时如是说。

为了充分把握未来市场机遇，至纯科技拟公开发行不超11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。至纯科技今日召开的2021年临时股东大会就相关议题进行了审议和投票表决，爱集微作为其机构股东代表参加了本次大会，并对所有议案投出赞成票。

三大项目有望每年创收15亿元

在至纯科技本次募资所涉及的三大项目中，单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目拟使用募集资金金额为2.8亿元，主要是为满足特定客户的14nm及以下工艺节点需求，推动芯片制造过程中高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平。

至纯北方半导体研发生产中心项目拟使用募集资金金额为1.3亿元，主要是为与北京亦庄的特定客户做配套，通过提高公司产能规模，满足市场增长和产业结构优化的需求。

集成电路大宗气体供应站及配套项目拟使用募集资金金额为3.6亿元，主要是配合特定客户上海集成电路研发中心（ICRD）建造大宗气体供应站及其配套设施。

此外，至纯科技还计划将本次募集资金3.3亿元用于补充流动资金或偿还银行贷款，以满足公司流动资金需求，从而提高公司的抗风险能力和持续盈利能力。

柴心明在股东大会休会期间透露，至纯科技本次募资所涉及的3大项目未来全部达产后，每年有望共同创造15亿元营收。

聚焦湿法工艺设备，提高国产零部件比例

柴心明指出，从设计、开模到定型、认证等，国产半导体设备需要解决很多问题。而且现在行业还面临重复认证的问题，每一款设备都需要一家家晶圆厂做重复认证。

不过，柴心明也表示，近两年晶圆厂对国产设备的认证虽然没有趋于宽松，但整个认证的推进速度不断提高，认证周期也大幅缩短。

随着国内晶圆厂大幅扩产并推进国产设备导入，至纯科技聚焦的湿法设备业务今年上半年也“涨势喜人”，新增相关订单达 4.3 亿元，其中单片设备 2 亿元。该公司目前已可以提供 28nm 节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有 7 台套 12 英寸槽式设备和 8 台套 12 英寸单片设备将交付到中芯国际、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。

另外，在更先进的 14nm~7nm 技术世代，至纯科技上半年也已接到 4 台套机台多个工艺的正式订单，将于 2022 年交付至客户产线验证。

上半年至纯科技新增订单中，有 17 台套是来自中国大陆(中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技)以及中国台湾(力积电)等老客户的重复订单；11 台套是来自化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破(绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等)。

柴心明指出，至纯科技的湿法设备对标的是国际清洗巨头DNS，公司产品不仅在价格上更具竞争力，甚至某些性能指标也已经完成了超越。更值得一提的是，至纯科技还拥有竞争对手不具备的回收装置，其能够为客户节省耗材。至纯科技曾专门测算过某款设备，其每年能够为客户节省至少100万美元。

在设备差距不断缩小甚至体现出优势后，国产设备开始被国内晶圆厂大量导入。“我们的设备现在生产出来就全被买走，国内晶圆厂现在的态度就是‘有多少就要多少’。”柴心明如是说。

“目前国内每年新增的槽式设备中，至纯科技占据了半壁江山。”柴心明进一步表示，“不过，公司也正在未来主打的单片设备领域发力。以月产能4万片的12英寸逻辑产线为例，其可能需要超过80台清洗设备，其中90~95%都是单片湿法设备，市场空间巨大。”

在捕捉市场机遇的同时，至纯科技也在不断推进零部件国产化。目前该公司湿法设备的整体零部件进口率仍然高达70%，但皆来自日本、韩国等非美地区。

“我们一直在推进国产替代，至纯科技的目标是设备整体实现85%的零部件国产替代，剩下15%也只会是一些通用的成熟零部件，不会有封锁风险。”柴心明说。