上海半导体装备材料入股华卓精科，布局光刻机核心装备-电子工程世界

据悉，上海半导体装备材料基金已成功入股华卓精科，万业企业作为装备材料基金的主要 LP，通过基金入股，迅速布局光刻机双工台核心设备。

华卓精科生产的光刻机双工件台，打破了 ASML 公司在光刻机工件台上的技术垄断，成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。

业内人士表示，华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破，为我国自主研发 65nm 至 28nm 双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能，其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。

万业企业通过装备材料基金参投华卓精科，也有利于夯实万业企业战略布局国产设备赛道，提升万业企业的产业协同和价值收益。

据了解，华卓精科将于近期正式申请登陆科创板。

资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司创立于 2012 年，由清华 IC 装备团队在清华大学及其下属“北京 - 清华工业技术研究院”和 02 专项的支持下创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司建立初衷在于将清华大学在 02 专项中积累的高端垄断技术落地产业化，通过“技术辐射＆下行”的方式，面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。

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